Nasze portfolio dla przemysłu półprzewodnikowego
Półprzewodniki są podgrupą przemysłu elektrycznego i elektronicznego. Mają właściwości zarówno nieprzewodzących (izolatorów), jak i przewodników. W niskich temperaturach półprzewodniki stają się izolatorami, podczas gdy ich przewodnictwo wzrasta wraz ze wzrostem temperatury.
Rozwiązania kontroli lotnych związków organicznych (LZO) do produkcji półprzewodników i mikroprocesorów
Podczas produkcji układów półprzewodnikowych i innych urządzeń elektronicznych na różnych etapach procesu emitowane są różne zanieczyszczenia, takie jak lotne związki organiczne (LZO), kwasy i NOx. Od procesu osadzania cienkich warstw poprzez fotolitografię i trawienie cienkich warstw, należy kontrolować różne rozpuszczalniki.
Emisje zbierane są z:
- Faza osadzania: Nakładanie żywicy światłoczułej w celu ochrony określonych obszarów płytki półprzewodnikowej.
- Faza fotolitografii: naświetlanie żywicy poprzez maskę zaprojektowaną w celu uwidocznienia konfiguracji urządzenia.
Oczyszczarki kwasowe i amoniakowe służą głównie do oczyszczania spalin z urządzeń produkcyjnych podczas:
- Faza trawienia: Usuwanie uczulanej żywicy i trawienie tlenku krzemu, co jest kluczowe dla wykonania urządzenia.
- Krok CMP: Ścienianie warstw przeprowadzane na całej powierzchni płytki w systemie automatycznym za pomocą procesu chemiczno-mechanicznego.
Utleniacze i koncentratory termiczne
Dürr dostarcza koncentratory, skrubery, technologie odzyskiwania rozpuszczalników adsorpcji węgla, separacji i oczyszczania wraz z utlenianiem w razie potrzeby. Dürr analizuje Twój proces i wybiera najlepsze technologie dla Twojego składu emisji, wspierane przez globalną wewnętrzną organizację serwisową i części zamiennych, aby zaspokoić Twoje potrzeby konserwacyjne.
Systemy adsorpcji węglowej, zarówno regeneracyjne, jak i nieregeneracyjne, wychwytują emisje fazy gazowej rozpuszczalników lotnych związków organicznych (LZO) z procesów opartych na rozpuszczalnikach. Rozpuszczalniki nie mogą przedostać się do atmosfery, aby zapewnić zgodność z przepisami i regulacjami dotyczącymi ochrony środowiska. W regeneracyjnym systemie adsorpcji węglowej rozpuszczalniki są adsorbowane na węglu aktywnym. Gdy węgiel jest nasycony rozpuszczalnikiem, jest regenerowany parą, a rozpuszczalnik jest odzyskiwany w miarę kondensacji pary.
Ostatnie projekty firmy Dürr w zakresie kontroli emisji spalin podczas produkcji układów scalonych półprzewodnikowych obejmują:
- Wysoce wydajne pionowe skrubery do kwasów
- Systemy selektywnej redukcji katalitycznej (SCR) dla NOx
- Koncentrator LZO z elektrycznie podgrzewanym utleniaczem
- Metody odzysku ciepła do regeneracji koncentratorów
- Konstrukcja rekuperacyjnego utleniacza termicznego umożliwiająca łatwe usuwanie nagromadzonego silikonu
- Systemy odzyskiwania rozpuszczalników
- Usuwanie cząstek stałych przy użyciu technologii skrubera i mokrego elektrofiltra (WESP)
Systemy odzyskiwania rozpuszczalników Dürr oferują dwie kluczowe korzyści: zgodność z przepisami ochrony środowiska i niższe koszty operacyjne. Rozpuszczalniki mieszalne z wodą można oczyszczać i ponownie wykorzystywać na miejscu za pomocą naszego sprzętu destylacyjnego, co daje pozytywny zwrot z inwestycji. Rozpuszczalniki nie mieszalne z wodą można również ponownie wykorzystywać bez dodatkowego przetwarzania.
Do typowych rozpuszczalników odzyskiwanych w kontroli emisji w mikroprocesorach i półprzewodnikach należą octan monometyloestru glikolu propylenowego, octan izopropylu, silan, monochlorosilan, disilan, dichlorosilan, aceton, mleczan etylu i niemal wszystkie inne rodzaje węglowodorów.
Samodzielne systemy destylacyjne firmy Dürr oczyszczają ścieki lub strumienie rozpuszczalników, umożliwiając ich ponowne wykorzystanie lub utylizację, co pozwala na obniżenie kosztów utylizacji i oczyszcza rozpuszczalniki w procesie produkcji układów scalonych półprzewodnikowych.
W przypadku wybrania utleniacza termicznego (TO) jako najlepszej dostępnej technologii, system jest projektowany tak, aby umożliwić łatwe usuwanie silikonu nagromadzonego w procesie produkcji układów scalonych półprzewodnikowych.
W celu zapewnienia zrównoważonych i wydajnych rozwiązań w zakresie kontroli emisji firma Dürr oferuje dedykowane wewnętrzne usługi serwisowe i organizację dostaw części zamiennych, aby sprostać bieżącym potrzebom konserwacyjnym, gwarantując długowieczność i niezawodność systemów redukcji emisji.
