Unser Portfolio für die Halbleiterindustrie
Halbleiter bilden eine Untergruppe der Elektro- und Elektronikindustrie, da sie hier ihre Anwendung finden. Halbleiter haben sowohl Eigenschaften von Nichtleitern (Isolatoren) als auch von Leitern. Bei tiefen Temperaturen werden Halbleiter zu Isolatoren, wohingegen ihre Leitfähigkeit mit ihrer Erwärmung steigt.
VOC-Steuerungslösungen für die Produktion von Halbleiter- und Mikrochips
Bei der Produktion von Halbleiterchips und anderen elektronischen Geräten werden in verschiedenen Prozessstufen verschiedene Schadstoffe wie flüchtige organische Verbindungen (VOC), Säuren und NOx freigesetzt. Vom Prozess der Dünnschichtablagerung über die Fotolithografie bis hin zum Ätzen der Dünnschicht müssen verschiedene Lösemittel gesteuert werden.
Emissionen werden in folgenden Phasen und Schritten gesammelt:
- Ablagerungsphase: Auftragen eines lichtempfindlichen Harzes zum Schutz bestimmter Bereiche des Halbleiterwafers
- Fotolithografiephase: Belichtung des Harzes durch eine Maske, die den Umriss der Gerätekonfiguration darstellt
Säure- und Ammoniakwäscher behandeln in erster Linie die Abluft von Herstellungsgeräten während folgender Teile der Produktion:
- Ätzphase: Entfernen des sensibilisierten Harzes und Ätzen des Siliziumoxids, was für die Herstellung der Geräte entscheidend ist
- CMP-Schritt: Ausdünnung der Schichten auf der gesamten Oberfläche des Wafers mit einem automatischen System durch einen chemisch-mechanischen Prozess
Thermische Abluftreinigung und Konzentratoren
Dürr bietet bei Bedarf Konzentratoren, Wäscher, Lösemittelrückgewinnungs-, Abscheidungs- und Reinigungstechnologien mit Aktivkohlefiltern sowie Oxidationssysteme an. Dürr analysiert Ihren Prozess und wählt die besten Technologien für Ihre Emissionszusammensetzung aus. Unterstützt werden Sie dabei von einer weltweiten internen Kundenservice- und Ersatzteilabteilung, die Ihnen bei der Wartung zur Seite steht.
Aktivkohlefiltersysteme, unabhängig davon, ob sie regenerativ oder nicht regenerativ sind, binden dampfförmige Emissionen von flüchtigen organischen Verbindungen (VOC) aus lösemittelbasierten Prozessen. Zur Sicherstellung der Einhaltung von Umweltgesetzen und -vorschriften wird der Eintritt der Lösemittel in die Atmosphäre verhindert. Bei einem regenerativen Aktivkohlefiltersystem werden Lösemittel an Aktivkohle adsorbiert. Wenn der Kohlenstoff mit dem Lösemittel gesättigt ist, wird er mit Wasserdampf regeneriert und das Lösemittel wird durch die Kondensation des Dampfes zurückgewonnen.
Zu den jüngsten Dürr-Projekten für Abluftemissionssteuerungen in der Halbleiterchip-Produktion gehören:
- Hocheffiziente senkrechte Wäscher für Säuren
- Selektive katalytische Reduktionssysteme (SCR) für NOx
- VOC-Konzentrator mit elektrisch beheizter Abluftreinigung
- Wärmerückgewinnungsmethoden für Konzentratorregenerationen
- Rekuperative thermische Abluftreinigung für eine einfache Entfernung von Siliziumablagerungen
- Lösemittelrückgewinnungssysteme
- Partikelentfernung mit Wäscher und elektrostatischem Nassabscheider (WESP)
Die Lösemittelrückgewinnungssysteme von Dürr überzeugen durch zwei wesentliche Vorteile: Einhaltung von aktuellen Umweltvorschriften und Senkung der Betriebskosten. Wassermischbare Lösemittel können vor Ort mit unserer Destillationsanlage gereinigt werden, was ihre Wiederverwendung ermöglicht und einen positiven Return on Investment (ROI) generiert. Nicht wassermischbare Lösemittel können auch ohne Weiterbearbeitung wiederverwendet werden.
Typische zurückgewonnene Lösemittel in der Emissionssteuerung bei Mikrochips und Halbleitern sind Propylenglycolmonomethyletheracetat, Isopropylacetat, Silan, Monochlorsilan, Disilan, Dichlorsilan, Aceton, Ethyllactat und fast alle anderen Arten von Kohlenwasserstoffen.
Die eigenständigen Destillationsanlagen von Dürr reinigen Abwasser- oder Lösemittelströme so, dass sie wiederverwendet oder entsorgt werden können. Dadurch werden die Entsorgungskosten gesenkt und die Lösemittel im Fertigungsprozess von Halbleiterchips gereinigt.
Wenn eine thermische Abluftreinigung als beste verfügbare Technologie ausgewählt wird, ist das System so konzipiert, dass Siliziumablagerungen aus dem Fertigungsprozess von Halbleiterchips leicht entfernt werden können.
Für nachhaltige und effiziente Emissionssteuerungslösungen verfügt Dürr über eine interne Kundenservice- und Ersatzteilabteilung, um den laufenden Wartungsbedarf zu decken und die Langlebigkeit und Zuverlässigkeit Ihrer Emissionsreduktionssysteme zu gewährleisten
